中国电子科技集团公司第四十八研究所
The48thResearch Institute ofChina Electronics Technology Group Corporation
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公司介绍
      48 所是我国唯一以半导体专用装备研究为主的半导体加工设 备研究、开发、生产的专业研究所，是我国主要以微电子制造装备、 特种传感器及测控系统、磁性材料制造装备、新型储能材料制造装备 等技术为主的科研生产机构。利用自身微细加工设备和工艺技术优 势，自 1987 年开始从事传感技术的研究与开发工作。拥有先进的金 属基与硅基 MEMS 传感器设计、制造和试验平台，是我国工业和信 息化部工业强基工程项目《宽温区高可靠薄膜压力传感器》示范单位， 主要产品包括压力、温度、气体等传感器类别，产品广泛应用于工程 机械、石油化工、智能制造、桥梁监测、燃气泄漏监测等领域。